M. Stollenwerk

12.07.2020 (обновленно 12.07.2020)

1660 просмотров

Иридиевые покрытия для космической рентгеновской оптики

Источник: https://www.researchgate.net/publication/320029394_Iridium_coatings_for_space_based_x-ray_optics

Аннотация

Будущие исследования астрономических рентгеновских источников требуют легких телескопических систем с большими площадями сбора и хорошим угловым разрешением. Конструкция телескопа типа Wolter I предлагает подходящую возможность для получения эффективных рентгеновских зеркал с высокой площадью сбора. Технология, основанная на реплицированной стеклопластиковой оптике с использованием тонких стекол, тем самым дает возможность удовлетворить требования легкого и массового производства. В телескопе NuSTAR НАСА эта технология была доказана как выгодная по сравнению с предыдущими системами. Покрытие тонких стекол иридием, золотом или платиной повышает отражательную способность рентгеновских зеркал.

Таким образом, низкое напряжение покрытия, высокая плотность и низкая микрошероховатость поверхности необходимы для обеспечения хорошей отражательной способности рентгеновского излучения. В связи с высокой отражательной способностью иридия при энергиях фотонов до 5 кэВ представленная работа посвящена разработке технологического процесса получения иридиевых покрытий (толщина пленки ≤100 Нм) на тонких стеклянных подожках. Мы рассматриваем тонкие стекла, сформированные в параболические и гиперболические формы конструкции Wolter I путем термической обработки стекол на вогнутых формах с использованием метода непрямого падения стекла. При использовании этого метода поверхность стекла, подлежащая покрытию, сохраняет свою первоначальную шероховатость, так как она не контактирует с формой во время термической обработки.

Разработанный процесс осаждения тонких пленок иридия на стеклянные подложки основан на магнетронном распылении. Напыление с различными параметрами (например, изменением давления газа аргона) приводит к образованию пленок иридия с различными свойствами. Исследования зависимости плотности тонкой пленки, ее кристаллической структуры, шероховатости поверхности и напряжения покрытия от параметров распыления рассматриваются в контексте влияния свойств пленки иридия на отражательную способность зеркал с покрытием. 

Введение

Оптическое зеркало, отражающее видимый свет при почти нормальном падении, в основном поглощает или пропускает рентгеновские лучи, но не отражает их. При изменении угла падения на угол выпаса увеличивается отражательная способность рентгеновского излучения. Выпасающие падающие зеркала обеспечивают достаточную отражательную способность рентгеновских лучей при угле падения выпаса, как правило, ниже 3°.

Конструкция типа Wolter I для рентгеновских телескопов сочетает в себе два типа пасущихся падающих зеркал с различной геометрией (см. рисунок 1): только первичное параболоидальное зеркало и вторичный Гиперболоид [1,2]. Преимуществом двойной зеркальной системы является уменьшение оптических аберраций, таких как эффекты комы. Для увеличения собирающей площади рентгеновского телескопа несколько вложенных зеркальных оболочек объединяются вместе [3]. 

Рисунок 1 — Схематическое представление принципа работы сегментированного телескопа Wolter ItypeX-ray.

Конструкция Itypetelescope Wolter широко применяется в космических полетах, как показано в обзорном списке таблицы 1. Также используются небольшие вариации от этой конструкции: коническое приближение, в котором параболоиды и Гиперболоиды заменяются двумя коническими зеркалами и конфигурацией Вольтера-Шварцшильда [5].

Лучшее угловое разрешение рентгеновских телескопов до сих пор достигается с помощью технологии непосредственно полированных зеркальных оболочек. Угловое разрешение 0,5 угловой секунды было реализовано для миссии "Чандра", запущенной в 1999 году,которая состоит из четырех толстостенных полированных оболочек Zerodur. Однако этот рентгеновский телескоп показывает низкую эффективную площадь всего 0,08 м² при энергиях рентгеновского излучения 1-1,5 Кев и высоком отношении массы к площади 12500 кг/м².

Улучшенная эффективная площадь и уменьшенный вес вместе с хорошим угловым разрешением предназначены для рентгеновских телескопов будущих космических миссий, таких как ATHENA (Advanced Telescope for High ENergy Astrophysics) для Европейского космического агентства (ЕКА)[6] или X-ray-Surveyor для Национального управления по аэронавтике и исследованию космического пространства (НАСА)[7, 8].

Увеличение эффективной площади должно быть осуществлено для Афины путем увеличения числа снарядов до 250. Для обеспечения того и другого, разумного объема телескопов и веса, требуется уменьшение толщины зеркал. Для толщины атенамиррора предлагается толщина 0,17 мм (то есть более чем в 100 раз ниже, чем у миссии Чандра).Угловое разрешение телескопа определяется как среднеквадратичной шероховатостью зеркала, так и аберрациями зеркальной системы.

Таблица 1.Обзор основных характеристик реализованных и планируемых рентгеновских спутников. *: среднеквадратичная шероховатость подложки: ≤0,5 Нм, ++: баллонный эксперимент, н.: информация недоступна. 

Покрытие стеклянных зеркал повышает их рентгеновскую отражательную способность. Материал покрытия необходимо выбирать в зависимости от его отражательной способности в энергетическом диапазоне исследуемых рентгеновских лучей. Инжир. На рис. 2 показана расчетная отражательная способность материалов покрытий, используемых для различных космических полетов, при энергиях фотонов ниже 10 кэВ. Для расчетов приняты среднеквадратичная шероховатость поверхности 0 Нм, плотность сыпучего материала и угол падения травления 0,8°. Среди высоко-Z материалов Золото (Au), платина (Pt), вольфрам (W) и иридий (Ir), ИК показывает самую высокую отражательную способность во всем диапазоне энергий до 10 кэВ. Сочетание ИК – излучения и наложения карбида бора (B4C) в качестве двухслойного покрытия или в качестве основы многослойного покрытия – как это предусмотрено ЕКА для будущего телескопа ATHENA-должно демонстрировать довольно высокую отражательную способность для энергий фотонов ниже 5 кэВ. B4C действительно подавляет резкое падение отражательной способности ИК при энергиях фотонов, близких к 2 кэВ, с довольно высокой отражательной способностью около 0,9. Покрытия на основе Ir/B4C разработаны в DTU Space, датском техническом университете [18-21]

Рисунок 2. — Расчетное поведение рентгеновской отражательной способности различных материалов покрытия при заданном угле падения 0,8° и предполагающем насыпную плотность и отсутствие шероховатости поверхности. Расчеты получены из работ [22, 23].

Представленная работа связана с разработкой иридиевых покрытий на тонких стеклах в Ашаффенбургском Университете прикладных наук. Выбранная в данном случае технология изготовления зеркальной подложки основана на осаждении тонких стеклянных пленок с применением метода косвенного осаждения, разработанного и исследованного в Институте внеземной физики им. Макса Планка (MPE).

 Концепция рентгеновского зеркала

А. Основные требования к космической оптике помимо эксплуатационных требований в отношении углового разрешения и эффективной площади в требуемом диапазоне энергий фотонов рентгеновские телескопы должны удовлетворять некоторым основным требованиям, связанным с материалами, используемыми для их изготовления. Для обеспечения легкой телескопической системы необходима низкая плотность материалов. Химически инертные материалы предпочтительны для уменьшения взаимодействия с окружающей средой. Еще одним аспектом является устойчивость к воздействию температуры и времени во время хранения и при запуске. До сих пор в рамках этого проекта не было проведено никаких испытаний на устойчивость в различных условиях окружающей среды.

B. производство рентгеновских зеркал принцип зеркального производства рентгеновских телескопов, предложенный MPE, должен быть пригоден для серийного производства [9, 24, 25]. Исходные плоские стеклянные подложки поддерживаются частично гиперболообразной и частично параболообразной формой. При нагревании стеклянных сегментов при температурах выше температуры стеклования стекло деформируется и принимает под действием гравитации форму формы, уступающую гиперболе и параболе стеклянных сегментов. Нанесение отражающих покрытий на зеркальную поверхность улучшит отражательную способность зеркал. Несколько покрытых стеклянных сегментов выровнены и интегрированы в отдельные модули, которые будут собраны на последнем этапе для получения всей рентгеновской зеркальной системы. Преимущество метода непрямого стеклования заключается в том, что дополнительно покрытая поверхность стекла не контактирует с пресс-формой, так что никакого повреждения этой поверхности не должно происходить, обеспечивая отсутствие существенного изменения среднеквадратичной шероховатости поверхности зеркальной подложки.

С. зеркало substratesD263Teco боросиликатного стекла со. Для разработки покрытия были выбраны пластины фирмы Schott (Германия) размером 100 х 200 мм и круглые пластины диаметром 150 мм, обе толщиной 0,4 мм. Этот тип стекла уже использовался для эксперимента с воздушным шаром HEFT (High Energy Focusing Telescope) и для миссии NuSTAR (Nuclear spectroscopic telescope area), оба из которых использовали технологию зеркального отражения тонких стеклянных фольг. При среднеквадратичной шероховатости менее 1 нм[26]этот стеклянный материал демонстрирует хорошее качество поверхности. Согласно его коэффициенту теплового расширения 7,2 ppm/K в диапазоне температур от 20°C до 300°C [26],он также должен быть совместим с ИК,который изображает коэффициент теплового расширения 7,33 ppm/K в диапазоне температур от 30°C до 865°C [27]. Температура стеклования 557°C [26]является выгодной для процесса осаждения, поскольку, следовательно, должны быть достигнуты относительно низкие температуры(максимум 620°C [9]). Плотность стекла 2,51 г/см3[26] соответствует отношению площади массива к телескопической системе.

D. зеркальное покрытие из-за высокой отражательной способности объемного ИК-излучения по сравнению с другими,такими как Au или Pt, ИК-излучение было выбрано для зеркального покрытия.Еще одним преимуществом является химическая стабильность ИК [28].Проблемы разработки ИК-покрытия для рентгеновских зеркал заключаются в создании покрытия, которое одновременно должно демонстрировать хорошую отражательную способность рентгеновских лучей при энергиях фотонов ниже 10 кэВ, хорошую стабильность во времени и не должно вызывать какой-либо механической деформации оптической системы. Отражательная способность зависит как от плотности материала, так и от шероховатости поверхности. Сочетание высокой плотности и низкой шероховатости поверхности (ниже 1 нм) обеспечит наилучшую отражательную способность. Внутреннее напряжение покрытия изменит первоначальную форму зеркальной подложки и, следовательно, создаст аберрации. Кроме того такое напряжение может повлиять на стабильность системы во времени в то время как в микроскопическом масштабе покрытие будет иметь тенденцию перестраиваться чтобы уменьшить напряжение.  

Экспериментальные методы

А. Способ нанесения покрытия тонкопленочное осаждение ИК-излучения на зеркальную подложку происходит в процессе радиочастотного (РЧ) магнетронного распыления с использованием аргона (Ar) с чистотой 99,999% в качестве технологического газа. Используемая система физического осаждения паров представляет собой распылительное оборудование типа VPA 21 фирмы Aurion Anlagentechnik GmbH (Германия). Перед процессом распыления вакуумная камера была вакуумирована до давления 5·10 -5мбар, чтобы избежать загрязнения покрытия воздухом. Иридиевая мишень (чистота: 99,9 %, диаметр: 150 мм) электрически соединена с радиочастотным генератором мощностью 300 Вт. Угол наклона между мишенью и нормалью подложки составляет 40°, а расстояние от мишени до подложки составляет 120 мм по нормали. Поток газа Ar и мощность накачки регулировались для каждого цикла распыления, чтобы установить определенное давление распыления, которое оставалось постоянным в течение процесса распыления. Субстрат активно не нагревается. Тонкие ИК - пленки были получены толщиной 30 нм или 100 нм с однородностью 2 % на подложке диаметром 150 мм. Эта однородность достигается главным образом за счет ротации подложки во время распыления. Согласно Broadway et al. [29] давление распыления является релевантным параметром, влияющим на внутреннее напряжение покрытия. Поэтому для исследования влияния этого параметра на свойства пленки были проведены эксперименты по нанесению покрытий с использованием различных давлений распыления. Давление распыления варьировалось от 5,6·10-4мбар до 6,0·10-2мбар при различных режимах распыления (что соответствует потокам газа Ar, варьирующимся от 10 СКСМ до 50 СКСМ).Исследования свойств представленных здесь покрытий проводились с использованием круглых плоских образцов стекла диаметром 150 мм в качестве зеркальных подложек, а также более мелких кусочков стекла.

B. оптическая метрология деформация стекла после нанесения покрытия является индикатором напряжения покрытия. Поэтому напряжение покрытия следует оценивать по различиям в форме стекла после и до нанесения покрытия. Измерения формы стекла проводились с помощью интерферометра белого света TMS-500 TopMap фирмы Polytec GmbH (Германия). Для проведения измерений круглая стеклянная пластина поддерживалась по краям на ширину 2 мм радиальной опорой. В этой конфигурации пластина деформируется из-за гравитации. Чтобы оценить напряжение покрытия на основе сравнения измерений, проведенных до и после нанесения покрытия, мы должны убедиться, что деформация, вызванная гравитационными эффектами, идентична в обоих случаях. Это требует хорошей повторяемости при позиционировании образцов стекла на опоре и относительно измерительного прибора.

C. Рентгенометрологические свойства покрытия были исследованы с помощью рентгеновской метрологии с Cu-Ka-излучением с энергией фотонов 8048 ЭВ и двумя различными экспериментальными установками.Кристаллическая структура ИК-покрытий была охарактеризована путем проведения рентгеноструктурных измерений в Университете прикладных наук Саарбрюккена (Германия) с помощью рентгеноструктурного прибора D8 focus, поставляемого компанией BrukerAXS GmbH (Германия). Измерения проводились с помощью дифракции падающего излучения с углом падения падающего излучения 0,8° и изменением угла 2θ между поверхностью образца с покрытием и детектором от 20° до 110° с шагом 0,02°. Кроме того, плотность и микрошероховатость поверхности ИК-покрытий были исследованы с помощью измерений гравитационной падающей рентгеновской рефлектометрии (GIXRR) в Университете Тунцзи (Китай) на рентгеновском Рефлектометрическом оборудовании D1 фирмы Bede Scientific nc. (США). Угол падения травления в этом случае варьировался от 0° до 2,0° с шагом 0,01° в режиме сканирования θ-2θ.  

Свойства зеркал с ИК-Покрытием 

А. Оптические измерения формы поверхности круглых стекол D263Teco после и до ИК-покрытия показывают, что при низких давлениях распыления стекло значительно деформируется за счет покрытия (при 2,3 ·10 -3 мбар отмечена деформация в несколько мкм). Напротив, наблюдаемая деформация стекла была ниже при увеличении давления распыления. Это наблюдение указывает на то, что на напряжение покрытия может влиять изменение давления распыления, оно уменьшается при увеличении давления распыления. Однако количественный анализ пока недоступен, поскольку повторяемость позиционирования круглых образцов стекла на измерительной установке была недостаточной для получения достоверных значений деформации. Качественная тенденция зависимости напряжения покрытия от давления распыления грубо изображена стрелкой на верхнем рисунке Рис.1. 4.

B. Свойства ИК-покрытий резкие пики интенсивности дифрагированных рентгеновских лучей, полученные в результате рентгеновских измерений на двух образцах стекла с ИК-покрытием, распыленных при давлении 5,0·10-3 мбар и 4,5·10-2 мбар соответственно, показали, что обе ИК-тонкие пленки являются кристаллическими (см. зеленую и черную кривые левой диаграммы Рис. 3). Проведено сравнение экспериментальных данных с расчетными положениями рентгеновских дифракционных пиков Оуэна и др. [30] для ИК-кубической гранецентрированной структуры (fcc) с параметром решетки 3,86 Å показывает довольно хорошую конкорданцию (см. красные линии, соответствующие данным из файла порошковой дифракции 03-065-1686 [31] на левой диаграмме Рис. 3). Из этих измерений можно сделать вывод, что кристаллическая структура обеих ИК-тонких пленок представляет собой структуру fcc с параметром решетки, близким к 3,86 Å. Однако различия видны во всей ширине при половинном максимуме (FWHM) основного пика при 2θ ≈ 40,9°, соответствующем рентгеновскому дифракционному пику плоскости решетки (111). FWHM лежит примерно на 0,76° для ИК-пленки, распыленной при давлении 5,0·10 -3 мбар, и на 1,17° для ИК-пленки, полученной в результате распыления при давлении 4,5·10 -2 мбар (см. Нижнюю диаграмму Рис. 4). Согласно формуле Шеррера [32, 33] эта разница указывает на более мелкозернистую кристаллическую структуру при давлениях распыления 4,5·10 -2 мбар, чем при 5,0·10 -3 мбар.Правая диаграмма рис. На рис. 3 изображена интенсивность, измеренная на ИК-пленке толщиной 30 Нм, полученной в результате измерений рентгеновской рефлектометрии в зависимости от угла падения травления. В этом случае ИК-пленка была получена путем распыления при 4,5·10-2 мбар. При заданном угле падения ~ 0,7° интенсивность, отраженная ИК-пленкой, примерно уменьшается на два порядка величины интенсивности, отраженной при угле падения 0,1°. Для данного материала зависимость интенсивности отраженного рентгеновского излучения от частоты травления зависит от толщины, плотности и шероховатости поверхности. Поэтому наилучшее соответствие экспериментальных данных однослойной модели [22, 23] С учетом этих зависимостей дает информацию о толщине пленки, плотности и шероховатости поверхности. 

Рисунок 3. — слева: рентгеновская дифрактограмма двух ИК-пленок толщиной 100 Нм, распыленных при 5,0·10-3 мбар (зеленый) и соответственно при 4,5·10-2 мбар (черный), и расчетные рентгеновские дифракционные пики кубического гранецентрированного (fcc) ИК из порошкового дифракционного файла 03-065-1686 [31, 30] (красный). Справа: данные измерения падающей рентгеновской рефлектометрии (круги) рентгеновского зеркала с ИК-пленкой толщиной 30 Нм, покрытой при 4,5·10-2 мбар, и соответствующая кривая подгонки (красная линия).

Было замечено, что отражательная способность ИК-тонких пленок, распыленных при различных давлениях распыления, но с одинаковой толщиной, имеет различные зависимости от угла падения травления, что указывает на различные плотности и различные среднеквадратичные шероховатости поверхности. Результаты оценки плотности и среднеквадратичной шероховатости поверхности различных ИК-тонких пленок графически представлены на Рис. 4 в виде функции полного давления распыления. При распылении при полных давлениях ниже 3,0·10-2мбар как плотность, так и среднеквадратичная шероховатость поверхности ИК-пленок сильно чувствительны к давлению,тогда как выше 3,0·10-2мбар плотность и среднеквадратичная шероховатость поверхности,по-видимому,существенно не изменяются в зависимости от давления распыления. Напыление при общем давлении 5,0·10-3мбар приводит к образованию пленки с плотностью, близкой к 90 % от насыпной плотности, и среднеквадратичной шероховатостью поверхности 1 нм. При увеличении давления распыления до 3,0·10-2мбар и выше плотность пленки снижается до 62% от насыпной плотности, а среднеквадратичная шероховатость поверхности увеличивается примерно до 2 нм[32]. 

Рисунок 4. — Свойства тонких пленок иридия в зависимости от общего давления распыления [34].

В. рентгеновская отражательная способность зеркал с ИК-покрытием результаты рентгеновской метрологии на ИК-тонких пленках показывают, что свойства ИК-покрытий сильно коррелируют с давлением распыления.Отражательная способность, возникающая из-за пониженной плотности и шероховатости поверхности anrms до 2 нм, оценивается для угла падения травления 0,8° и для энергий фотонов ниже 10 кэВ [22,23].на Рис.5 приведены расчетные значения отражательной способности ИК с плотностью и среднеквадратичными значениями шероховатости поверхности из Рис.5. 4,то есть соответствующие свойствам ИК-покрытий, полученных при распылении при давлениях от 5,0·10-3мбар до 6,0·10-2мбар. На левой диаграмме рис.5X-лучевая отражательная способность объемного ИК-излучения, Au и Pt также нарисованы (пунктирные линии) для сравнения ожидаемой отражательной способности различных ИК-покрытий с отражательной способностью высоколегированных сыпучих материалов. Можно наблюдать, что отражательная способность ИК-покрытий, распыленных при давлениях выше 5,0·10-3мбар, значительно падает с увеличением давления распыления. Это также видно из правой диаграммы на рис. Рис. 5,на котором показаны ожидаемые коэффициенты отражения ИК-покрытий при энергии фотона 5 кэВ в зависимости от полного давления распыления. При более низкой плотности и более высокой среднеквадратичной шероховатости отражательная способность снижается. Однако ИК-покрытие, распыленное при давлении 5,0·10-3мбар (плотность: 90% объемной, среднеквадратичная шероховатость поверхности: 1 нм), должно демонстрировать отражательную способность, аналогичную объемной Au для энергий фотонов до 10 кэВ, но ниже объемной PT без шероховатости. 

Рисунок 5. — Рассчитанная рентгеновская отражательная способность их тонких пленок с плотностью и среднеквадратичной шероховатостью поверхности Расчеты, полученные из [22, 23] с использованием угла падения выпаса 0,8°. Слева: график в зависимости от энергии фотона, включающий сравнение с рентгеновской отражательной способностью ИК, Au и Pt сыпучих материалов с предполагаемой среднеквадратичной шероховатостью поверхности 0 Нм. Справа: график в зависимости от полного давления распыления при энергии фотона 5 кэВ. 

Резюме

Предлагается реализовать телескопы типа Wolter I со сборкой сегментированных рентгеновских зеркал для повышения углового разрешения и эффективной площади,предназначенной для будущих легких рентгеновских телескопов, каждое рентгеновское зеркало которых состоит из тонкого стекла, покрытого отражающим материалом. На этом фоне институт внеземной физики имени Макса Планка разрабатывает технологию непрямого оседания стекла для придания зеркальным стеклянным подложкам требуемой формы параболы и гиперболы, в то время как Ашаффенбургский Университет прикладных наук исследует процесс нанесения покрытия на стеклянные сегменты на основе ИК-излучения с высоким Z-материалом.Для этого требуется снизить напряжение покрытия, чтобы минимизировать аберрации рентгеновских зеркал. Согласно нашим предварительным качественным результатам по деформации стекла вследствие нанесения покрытия, низкозатратные пленки Irthin получают напылением при высоких давлениях(> 3,0·10-2мбар). Однако эти пленки представляют собой мелкозернистую кристаллическую структуру fcc с пониженной плотностью (не менее 60% от насыпной плотности) и более высокой среднеквадратичной шероховатостью поверхности (около 2 нм),что приводит к снижению отражательной способности для энергий фотонов до 10 кэВ. Пленки иридия,распыленные при более низких полных давлениях (5,0·10-3мбар), характеризуются, напротив, высокой плотностью и низкой шероховатостью поверхности, но высоким внутренним напряжением. Отжиг этих ИК-пленок должен включать в себя перегруппировку атомов ИК,что должно привести к снижению напряжения покрытия [35]. Дальнейший способ заключается в компенсации деформации путем нанесения одного и того же покрытия на обе стороны зеркала или путем нанесения дополнительного слоя с противоположным напряжением между зеркальной подложкой и ИК-покрытием. Эти возможности будут учтены на следующих этапах разработки рентгеновских зеркал с ИК-покрытием.Дальнейшие усилия по улучшению измерений формы будут предприняты для обеспечения количественной оценки деформации стекла из-за покрытия.

Рентгеновская метрология проводилась в сотрудничестве с двумя институтами-Университетом Тунцзи в Шанхае (Китай) и Университетом прикладных наук в Саарбрюккене (Германия). Мы благодарны ключевой лаборатории МЧС передовых микроструктурных материалов, институту точной оптической инженерии, Школе физики науки и техники Университета Тунцзи, в частности Рунце Ци и Чжаньшань Вану за их измерения и анализ рентгеновского отражения. Мы также благодарим группу датчиков и тонких пленок Университета прикладных наук Саарбрюккена, особенно Анжелу Леллиг и Гюнтера Шульца за проведение рентгеноструктурных измерений и анализа.Кроме того, мы благодарим Себастьяна Цейзинга и Йоханнеса Штадтмюллера из Ашаффенбургского Университета прикладных наук за их полезный вклад в измерение формы и ИК-покрытия.Эта работа выполняется в рамках проекта INTRAAST (немецкая аббревиатура от: Industry transfer of astronomical mirror technologies)., который с благодарностью финансируется Баварским государственным Министерством образования и культуры, науки и искусства (Германия).

Список литературы
[1] H. Wolter, “Spiegelsysteme streifenden Einfallsals abbildende Optiken für Röntgenstrahlen”, Ann. Phys.,vol. 10, PP. 94-114, 1952
[2]B. Aschenbach, “реализация рентгеновских телескопов –от проектирования до исполнения”, эксп.Астрон., объем. 26 (1), С. 95-109, 2009
[3] п. Горенштейн, “фокусирующей рентгеновской оптики для астрономии”, в: “рентгеновская оптика и приборостроение”, HindawiPublishing корпорации,объем. 2010 код статьи 109740, 2010
[4] т. Döhringet ал., “Задача развития тонких зеркало снарядов для будущих рентгеновских телескопов”, Тез.Докл. SPIE9628, 962809, 2015
[5] H. Вольтер, “Verallgemeinerte Schwarzschildsche Spiegelsysteme streifender Reflexion als Optiken fürRöntgenstrahlen”, Ann. Физ., объем. 445, стр. 286-295, 1952
[6] EuropeanSpace агентства, “подготовка покрытием рентгеновского зеркала плиты производства”, программа Реф: C216135MM, добавлении 1 к АО/18285, ЕКА-СРЕ-е-ЕСТЕК-Ир-2015-003, 2015
[7] А. Vikhlinin, М. Вайскопф, И. Гаскин, Х. Tananbaum, “рентген-геодезиста: наука драйверов и strawmanmission дизайн”, PhysPAG исполнительного комитета в Казахстане, 2015, (08.2016)http://wwwastro.msfc.nasa.gov/xrs/docs/presentations/2015-06-X-ray-Surveyor-PhysPAG_AV.pdf
[8] Ю. А. Гаскин, “миссия рентгеновского сюрвейера: концептуальное исследование”, Proc. SPIE9601, 96010J, 2015
[9]L. Прозерпио, т. Деринг, Э. Бреуниг и А. Зима, “ сценарий индустриализации производства рентгеновских телескопов на основе резкого падения производства стекла”, Proc. SPIE9144, 914448, 2014
[10]B. Сальмасо, “улучшение углового разрешения падающей тонкой стеклянной оптики для рентгеновских телескопов”, Кандидатская диссертация, Università degli Studidell’ Insubria, 2016
[11] Б. Ашенбах,“проектирование, конструирование и эксплуатационные характеристики рентгеновской зеркальной сборки высокого разрешения ROSAT”, Proc. SPIE0830, 152, 1988
[12] И. С. Besseyand Я. А. рот, “распыленных покрытий иридий на скользящем падении рентгеновского отражения”, Тез.Докл. SPIE2011, 12, 1994
[13] R. Brissenden, “The Generation-X Vision Mission”, Harvard-Smithonian Center for Astrophysics, 2008, (08.2016)https://www.cfa.harvard.edu/hea/genx/media/papers/Gen-X-NRC.pdf
[14]Лаборатория космического излучения Калифорнийского технологического института, веб-сайт(08.2016): http://www.srl.caltech.edu/HEFT/instrument.html
[15] J. Koglin, F. E. Кристенсен, Дж.Чонко, Х. Ю., “разработка и производство твердой рентгеновской многослойной оптики для утка”, Proc. SPIE4851, 607, 2003
[16]F. A. Harrisonet al., “разработка эксперимента с воздушным шаром высокоэнергетического фокусирующего телескопа (HEFT)”, Proc. SPIE4012, 693, 2000
[17]X. Barcons и соавт., “Афина: рентгеновскую обсерваторию для изучения горячей и энергетический мир”, журнал физики: конференция Series610, 2015
[18] м. Bavdaz и соавт., “Рентген события оптика на ЕКА”, Тез.Докл. SPIE8861, 88610L, 2013
[19] D. D. M. Феррейра и др., “разработка и характеристика покрытий на кремниевых пористых оптических подложках для выполнения миссии”, Proc. SPIE8443, 84435E, 2012
[20] Д. М. Д. Феррейра, Э. Ф. Кристенсен, С. А. Якобсен, Ю. Н. Вестергаард, и Б. Шортт, “Афина оптимизированное покрытие дизайн”, Тез.Докл. SPIE8443, 84435L, 2012
[21] S. Massahi et al., “разработка и производство многослойного рентгеновского отражающего стека с покрытием для миссии Athena”, Proc. SPIE9905, 99055P, 2016
[22] The Center for X-ray Optics, Lawrence Berkeley National Laboratory, Material Sciences Division, “X-ray Interactions with Matter”, website(08.2016): http://henke.lbl.gov/optical_constants/mirror2.html
[23] B. L. Henke, E. M. Gullikson, and J. C. Davis., “X-ray interactions: photoabsorption, scattering,transmission, and reflection at E-50-30000 eV, Z=1-92”, Atomic Data and Nuclear Data Tables, vol. 54(2),PP. 181-342, 1993
[24] A. Winter, E. Breunig, P. Friedrich, and L. Proserpio, “X-ray telescope mirrors made of slumped glasssheets”,Proc. ICSO, 2014
[25] L. Фридрих П., Е. Breunig, прозерпио, и А. Зимней, “производство рентгеновского астрономического зеркала, сделанные тонкой стеклянной пленки, используя горячую слабеющую техника”, Тез.Докл. EOSMTOC, 2015
[26]Schott AG (Германия), техническая спецификация тонкого стекла D263Teco, 2013, (08.2016)www.schott.com/advanced_optics/german/download/schott-d-263-t-eco-thin-glass-may-2013-eng.pdf
[27] Сингх, “определение теплового расширения Германия, родия и иридия рентгеновскими лучами”, Acta Cryst. Avol. 24, стр. 469-471, 1968
[28] С. Коли, Д. Найлз,Д. С. Rithner, и П. К. Dorhout, “структурные и оптические свойства пленок иридия отжигают на воздухе”, JCPDS-Международный центр дифракционных данных, достижений в области рентгеновского анализа, вып. 45, стр. 352-358 2002
[29]Д. М. Бродвее и соавт., “Достижение нулевой стресс в иридий, хром, никель и тонких пленок”, Тез.Докл. SPIE9510, 95100E, 2015
[30] Е. А. Оуэн, Л. Е. Йейтс, “прецизионные измерения параметров кристаллической”, филос. Маг., объем. 15 (98), стр. 472-488, 1933
[31] порошкового дифракционного файла, PDF-2 выпуска 2009; Kabekkodu, С. Н., ред.;JCPDS-Международный центр forDiffraction сведения: площадь Ньютон, Пенсильвания, 2009
[32] п. Scherrer, “Bestimmung der Größe und der inneren Struktur von Kolloidteilchen mittels Röntgenstrahlen”, Nachr. ГЭС. Висс. Геттинген, объем. 2, стр. 98-100, 1918
[33] Л. А. Паттерсон, “Формула Шерера для рентгеновского определения размера частиц”, Уфн. С изм., объем. 56(10),стр. 978-982, 1939
[34] т. Döhring, А.-Э. Пробст, М. Штолленверк, М. Вэнь, л. Прозерпио, “развитие малого стресса покрытия Iridium для астрономических рентгеновских зеркал”, Тез.Докл. SPIE9905, 99056V, 2016
[35] K.-W. Chan, et al., “покрытие тонких зеркальных сегментов для легкой рентгеновской оптики”, Proc. SPIE8861, 88610X, 2013.

Внимание! НПП Электрохимия не несет ответственности за смысловую нагрузку данной статьи. Это не наш научный труд. Все результаты работы принадлежат ее авторам. Мы переводим их работу. Оригинал на англ языке указан в начале статьи.